鋁酸鑭（LaAlO3）單晶是當(dāng)前最重要的工業(yè)化、大尺寸高溫超導(dǎo)薄膜基片單晶材料。它用提拉法生長(zhǎng)，可以得到直徑 2 英吋及更大的單晶和基片。它與 YBaCuO 等高溫超導(dǎo)材料和晶格匹配好，介電常數(shù)較低，微波損耗小，因而適于制作高溫超導(dǎo)微波電子器件（如遠(yuǎn)程通訊中的高溫超導(dǎo)微波濾波器等）。有巨大的現(xiàn)實(shí)及潛在的應(yīng)用前景。

主要性能參數(shù)

晶系 六方（常溫）：立方（>435℃）

晶格常數(shù) 六方：a=5.357A c=13.22 A 立方 a=3.821 A

熔點(diǎn)（℃）：2080

密度 ：6.52（g/cm3）

硬度 ：6-6.5（mohs）

熱膨脹系數(shù)：9.4x10-6/℃

介電常數(shù)：ε=21

損耗正切：（10ghz) ～3×10-4@300k,～0.6×10-4@77k

顏色及外觀： 依退火狀況而不同，由棕黃色到褐色

拋光基片有自然孿晶疇

化學(xué)穩(wěn)定性：室溫下不溶于礦物酸，溫度大于 150℃時(shí)可溶于 h3po4 特點(diǎn) 適于微波電子器件

有效面積：>90%

尺寸：10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20，Ф15″,Ф20″，Ф1″，Ф2″,Ф2.6″

厚度：0.5mm，1.0mm

拋光：單面或雙面

晶向：＜100＞ ＜110＞ ＜111＞

晶面定向精度:：±0.5°

邊緣定向精度:：2°（特殊要求可達(dá) 1°以內(nèi)）

斜切晶片：可按特定需求，加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜（傾斜角 1°－45°）的晶片

Ra：≤5Å（5µm×5µm）

包裝：100 級(jí)潔凈袋，1000 級(jí)超凈室

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